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光栅式测微仪应用案例（2）——半导体零部件工程机械航空航天测量

日期：2024-07-15

光栅式测微仪也称光栅测微仪、光栅长度计或光电测长仪，是以光栅副作为测量元件，将线位移量转换为光电信号，经电路处理并以数字显示位移量的一种长度精密测量仪器。

光栅式测微仪是一种接触式精密传感器，今天小编以半导体制造工程为例，“图说”光栅式测微仪的测量应用和测量原理。

应用案例

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1、辊缝检测

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2、基板厚度的检测

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3、芯片平行度的检测

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4、FPD基板的多点检测

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5、测量压接端子的铆合高度

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6、复印机部品的平行度检测

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