往期回顾：点击查看→   “黑科技”来了！牧野Super Hale 加工技术  

我们已经介绍了MAKINO的Smart Tool 的Super Hale 在半导体设备真空腔体密封面的加工中的应用，本期我们介绍Smart Tool 的另一项黑科技：Synchro Spinner(同步旋转) 加工功能。

● Synchro Spinner●

Synchro Spinner(同步旋转) 加工功能是通过用加工中心，实现真空度要求高的半导体制造装置等的密封面同步旋转刮削加工。Synchro Spinner 加工功能的应用场景：

传统的加工方式，由于刀具旋转会产生从内侧到外侧的切削痕迹。

真空密封面中氦气沿着切削痕迹泄漏，无法维持真空。

为了保持高真空状态，必须进行研磨作业。

为了消除密封面内侧到外侧的切削痕迹，没有氦气泄露。需要采用车削的方式进行。

同步旋转刮削的面也可以得到同样的效果。

● 工序革新●

同步旋转加工装置实现工序革新

● 关键技术●

・与主轴旋转同步，刀尖扩展径向方向

・不需要U轴等特殊机构

・使用车床用ISO标准型刀片

・通过Cs轴的控制，可以调整刀片的移动量

・通过ATC实现自动换刀

● 加工案例●

● 适用牧野设备●

1）BT40/HSK-A63等

a51nx/ a61nx/ a500Z

2）BT50/HSK-A100等

a71nx/ a81nx/ T1

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