牧野机床 | 黑科技二:Synchro Spinner(同步旋转) 加工功能
机床附件 加工中心往期回顾:点击查看→ “黑科技”来了!牧野Super Hale 加工技术
我们已经介绍了MAKINO的Smart Tool 的Super Hale 在半导体设备真空腔体密封面的加工中的应用,本期我们介绍Smart Tool 的另一项黑科技:Synchro Spinner(同步旋转) 加工功能。
● Synchro Spinner●
Synchro Spinner(同步旋转) 加工功能是通过用加工中心,实现真空度要求高的半导体制造装置等的密封面同步旋转刮削加工。Synchro Spinner 加工功能的应用场景:
传统的加工方式,由于刀具旋转会产生从内侧到外侧的切削痕迹。
真空密封面中氦气沿着切削痕迹泄漏,无法维持真空。
为了保持高真空状态,必须进行研磨作业。
为了消除密封面内侧到外侧的切削痕迹,没有氦气泄露。需要采用车削的方式进行。
同步旋转刮削的面也可以得到同样的效果。
● 工序革新●
同步旋转加工装置实现工序革新
● 关键技术●
・与主轴旋转同步,刀尖扩展径向方向
・不需要U轴等特殊机构
・使用车床用ISO标准型刀片
・通过Cs轴的控制,可以调整刀片的移动量
・通过ATC实现自动换刀
● 加工案例●
● 适用牧野设备●
1)BT40/HSK-A63等
a51nx/ a61nx/ a500Z
2)BT50/HSK-A100等
a71nx/ a81nx/ T1
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